传统上，氧气等离子体处理 碳材料已经使用甲苯、丙酮、乙醇等有机溶剂去除污染物，但这种方法清洗不彻底，容易出现涂层缺陷，同时以生产成本为代价，造成环境问题。等离子清洗机技术以其均匀性、重现性、可控性、节能环保等特点在该领域得到广泛应用。在等离子体清洁器清洁过程中，氧气被转化为含有氧原子自由基的等离子体
